吉時利S530型參數(shù)測試系統(tǒng)和S500集成測試系統(tǒng)

吉時利S530型參數(shù)測試系統(tǒng)

業(yè)界性價比最高的全自動參數(shù)測試儀

S530參數(shù)測試系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)工藝控制監(jiān)測、工藝可靠性監(jiān)測和器件特性分析所需的全部直流和C-V測量功能。這類系統(tǒng)針對混合了多種產(chǎn)品和技術(shù)的測試環(huán)境進行了優(yōu)化設(shè)計，例如產(chǎn)線和研究實驗室。S530系統(tǒng)還具有業(yè)界領(lǐng)先的測試序列靈活性、自動測試功能、探針臺集成和測試數(shù)據(jù)管理功能。S530針對不同的參數(shù)測試應(yīng)用環(huán)境提供了三種標準配置：

l S530基礎(chǔ)系統(tǒng)是業(yè)界性價比最高的全功能參數(shù)測試儀。它能夠提供具有很好測量靈敏度的1A電流源或200V電壓源，非常適合于通用的工藝監(jiān)測應(yīng)用。

l S530低電流系統(tǒng)基于一種超低漏流的開關(guān)矩陣和具有亞皮安級測量分辨率的靈敏測量技術(shù)。他適合于亞微米硅MOS工藝的特性分析。

l S530高壓系統(tǒng)能夠提供高達1000V的電壓，可用于汽車電子和電源管理測試應(yīng)用所需的復(fù)雜的擊穿和漏流測試。

S500集成測試系統(tǒng)

滿足新興測試和成熟測試需求的靈活方案

S500集成測試系統(tǒng)是高度可配置的，基于儀器的系統(tǒng)，用于器件級、晶圓級或晶匣級半導(dǎo)體特性分析?；诩獣r利久經(jīng)驗證的測量儀器。S500系統(tǒng)新穎的測量特點和系統(tǒng)靈活性可根據(jù)您的需求進行拓展。S500系統(tǒng)的設(shè)計遵循3項吉時利標準原則;配置、集成和定制。這意味著您將獲得一套面向半導(dǎo)體特性分析的全面測試系統(tǒng)：集成了業(yè)界領(lǐng)先吉時利硬件和高度可配置ACS軟件（包括器件特性分析、可靠性/WLR、參數(shù)和器件功能測試）。憑借吉時利久經(jīng)驗證的測量儀器和用戶友好的ACS軟件，S500的配置、集成和定制特性同時融合了只有吉時利才能提供的應(yīng)用體驗。

l 高度可配置，基于儀器的系統(tǒng)

l 直觀的測試設(shè)置、數(shù)據(jù)采集以及用ACS軟件進行分析

l 吉時利的TSP-Link 背板提供高速測量吞吐量

l 全面控制自動和半自動探針

l 開發(fā)和運行器件級、site級、晶圓級和晶匣級測試